金融界2024年12月21日音书,国度学问产权局信息暴露,北京朔方华创真空时代有限公司请求一项名为“晶棒气象的动态检测格式、安设、配置及存储介质”的专利,公开号CN119152960A,请求日历为2024年8月。
专利纲领暴露,本请求波及一种晶棒气象的动态检测格式、安设、配置及存储介质,该格式包括及时监测并蚁集单晶炉中晶棒在不同工艺阶段产生的压降模拟量数据;对压降模拟量数据进行分析与解决,并阐明分析截止构建动态模子,识别晶棒在不同工艺阶段的晶棒气象信息;取得配置参数数据,并将压降模拟量数据和配置参数数据输入预设晶棒气象接洽模子,得到晶棒理念念气象信息,将晶棒理念念气象信息与晶棒气象信息进行对比分析,生成气象互异信息;辘集及时蚁集的压降模拟量数据与历史气象数据,对气象互异信息进行分析,生成对应的气象分析敷陈。本请求具有普及成产历程中晶棒气象检测的准确性的截止。
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